一种用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721037994.X
IPC分类号：C30B29/06;C30B35/00
申请日期：
2017-08-18
申请人：
山东伟基炭科技有限公司

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专利名称	一种用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装
申请号	CN201721037994.X	申请日期	2017-08-18
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/06 硅〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;3;5;/;0;0查看分类表>
申请人	山东伟基炭科技有限公司	申请人地址	山东省济南市高新区综合保税区港兴一路2777号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	山东伟基炭科技有限公司	当前权利人	山东伟基炭科技有限公司
发明人	姜明理;李为兵;徐滨;张江城;董凤荣
代理机构	济南诚智商标专利事务所有限公司	代理人	杨先凯

摘要

本实用新型提供了一种用于加工单晶硅石墨加热器的固定工装，包括基座、若干个大小不一的圆环以及销子；圆环的外径等于石墨加热器的内径以对石墨加热器进行固定，内径最小的圆环通过销子可拆卸地套设于基座上的圆柱状凸台上从而实现了多个外径大小不等但内径相等的圆环可以方便高效地在基座上进行安装或拆卸，实现了一机多用，且大小不等的圆环可以从大到小依次套设，进行组合，组合成大尺寸工装以适用于大尺寸的石墨加热器，从而实现了在不拆卸更换基座的情况下，适用于多种规格的石墨加热器的固定，且不换基座只换圆环使得能够在短时间内实现多种规格的圆环的快速拆卸切换，省时省力省成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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