间距调节装置、半导体设备及刻蚀工艺腔室

发明专利有效专利

申请号：
CN201911369559.0
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2019-12-26
申请人：
长江存储科技有限责任公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	间距调节装置、半导体设备及刻蚀工艺腔室
申请号	CN201911369559.0	申请日期	2019-12-26
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-04-28	公开/公告号	CN111081523A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	长江存储科技有限责任公司	申请人地址	湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长江存储科技有限责任公司	当前权利人	长江存储科技有限责任公司
发明人	马晓
代理机构	北京汉之知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	陈敏

摘要

本发明提供了一种间距调节装置、半导体设备及刻蚀工艺腔室，间距调节装置包括：间距调节模块，其用于使第一部件与第二部件之间保持间距，并根据设定间距值调节间距；间距调节模块包括用于使第一部件与第二部件之间发生相对位移的驱动单元和用于使驱动单元连接至第一部件或第二部件中任意一方的连接单元；驱动单元包括马达或气缸；连接单元包括连接杆与连接件；连接间距调节模块的控制模块，其用于设定间距值，并控制间距调节模块调节间距。本发明通过控制模块实时控制间距调节模块对第一部件与第二部件之间的间距进行调节，实现了对刻蚀工艺腔室中工艺气体喷淋头与晶圆静电卡盘间距的实时且连续的调节，节省了设备维护成本，提高了工艺的可调性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供