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一种掩模版清洗花篮

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201922306702.3
  • IPC分类号:H01L21/673
  • 申请日期:
    2019-12-16
  • 申请人:
    无锡中微掩模电子有限公司
著录项信息
专利名称一种掩模版清洗花篮
申请号CN201922306702.3申请日期2019-12-16
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人无锡中微掩模电子有限公司申请人地址
江苏省无锡市新区菱湖大道202号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡中微掩模电子有限公司当前权利人无锡中微掩模电子有限公司
发明人顾梦星;朱磊;张月圆;陈青
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型涉及一种掩模版清洗花篮,属于掩模生产技术领域。该花篮包括框体、支撑杆、圆柱形螺帽,所述框体包括两块对称的固定面板和两块对称的侧板,所述每块固定面板上开有台阶通孔,用于固定安装四根支撑杆;所述支撑杆上有多个卡槽,将相应的掩模版插入所述卡槽内;所述圆柱形螺帽用于把支撑杆锁紧在固定面板上,且可以通过改变圆柱形螺帽在固定面板上不同位置的台阶通孔,从而来改变装载不同尺寸的掩模版,实现一花篮清洗不同尺寸的掩模版,从而为生产节省成本,提供产线生产效益。

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