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背面钝化晶体硅太阳能电池的制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201210469616.4
  • IPC分类号:H01L31/18
  • 申请日期:
    2012-11-20
  • 申请人:
    宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司
著录项信息
专利名称背面钝化晶体硅太阳能电池的制备方法
申请号CN201210469616.4申请日期2012-11-20
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2013-03-13公开/公告号CN102969398A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司申请人地址
浙江省宁波市鄞州区望春工业园区杉杉路181号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司当前权利人宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司
发明人蔡二辉;刘伟;余涛;陈筑;刘晓巍
代理机构宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙)代理人李迎春
摘要
本发明涉及晶体硅太阳能电池制备领域,具体涉及一种背面钝化晶体硅太阳能电池的制备方法,包括以下步骤:(1)将石墨舟中的石墨挡板进行加工,形成镂空的网状结构;(2)将硅片经制绒、扩散制作PN结、周边刻蚀、去除磷硅玻璃后装在硅片花篮里等待镀膜;(3)将经过步骤(2)处理后的硅片装在步骤(1)加工后的石墨舟中,使得硅片背面贴紧石墨挡板,且使用镀膜设备对硅片背面无遮挡区域和正面同时镀上氮化硅薄膜;(4)将步骤(3)中两面都镀好膜的硅片进行丝网印刷背面电极、背面电场和正面电极,然后共烧结,制作成背面钝化晶体硅太阳电池。采用以上方法成本低、重复性好、适合工业化批量生产。

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