一种带基片加热的匀胶机

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022019338.5
IPC分类号：B05C11/08;B05C9/14;B05C13/02;B05D3/04
申请日期：
2020-09-15
申请人：
无锡环亚微电子有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种带基片加热的匀胶机
申请号	CN202022019338.5	申请日期	2020-09-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05C11/08 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置（喷射装置、雾化装置、喷嘴入B05B；把液体或其他流体涂布于物体上的静电喷射装置入B05B 5/08）〔2〕 B05C11/00 在B05C 1/00至B05C 9/00中没有专门列入的部件、零件及附件（B05C 19/00优先；操纵及夹持工件的方法入B05C 13/00；设备的屏蔽、喷雾装置入B05C 15/00）〔2〕 B05C11/02 向已经涂布过的表面涂敷或分布液体或其他流体的装置（B05C 7/00优先；为此目的使用的手工工具入B05C 17/10）；涂层厚度的控制〔2〕 B05C11/08 通过操纵工件，如倾斜涂敷液体或其他流体	IPC分类号	B;0;5;C;1;1;/;0;8;;;B;0;5;C;9;/;1;4;;;B;0;5;C;1;3;/;0;2;;;B;0;5;D;3;/;0;4查看分类表>
申请人	无锡环亚微电子有限公司	申请人地址	江苏省无锡市锡山经济技术开发区云林蓉通路17 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡环亚微电子有限公司	当前权利人	无锡环亚微电子有限公司
发明人	张军区;杜国强;董金良
代理机构	南京北辰联和知识产权代理有限公司	代理人	王俊

摘要

本实用新型公开了一种带基片加热的匀胶机，包括箱体，所述箱体的内腔横向固定连接有隔板，所述箱体内腔底部的左侧固定连接有安装板。本实用新型通过设置机械密封件，固定轴在使用时起到了密封及固定效果好的作用，通过设置安装板，对步进电机在使用时起到了固定稳定的作用，通过设置真空固定盘，对待测试基片在使用时起到了便于固定的作用，通过设置导热板对真空固定盘在使用时起到了加热效果好的作用，达到了基片加热和气氛处理功能的优点，解决了现有的匀胶机不具有基片加热和气氛处理功能的问题，当人们在使用匀胶机时，可以对基片进行加热，可以实时显示加热温度，且可以自动的对基片进行加热。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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