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用于形成热稳定有机硅聚合物膜的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910678900.4
IPC分类号：C08G77/04;C08G77/38;C08G77/60;C08G77/62;C08J3/28
申请日期：
2019-07-22
申请人：
ASMIP控股有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于形成热稳定有机硅聚合物膜的方法
申请号	CN201910678900.4	申请日期	2019-07-22
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-02-11	公开/公告号	CN110776639A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C08G77/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C08 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 C08G 用碳-碳不饱和键以外的反应得到的高分子化合物（发酵或使用酶的方法合成目标化合物或组合物或从外消旋混合物中分离旋光异构体入C12P）〔2〕 C08G77/00 在高分子主链中形成含硅键合，有或没有硫、氮、氧，或碳键合反应得到的高分子化合物〔2〕 C08G77/04 聚硅氧烷〔2〕	IPC分类号	C;0;8;G;7;7;/;0;4;;;C;0;8;G;7;7;/;3;8;;;C;0;8;G;7;7;/;6;0;;;C;0;8;G;7;7;/;6;2;;;C;0;8;J;3;/;2;8查看分类表>
申请人	ASMIP控股有限公司	申请人地址	荷兰阿尔梅勒变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	ASMIP控股有限公司	当前权利人	ASMIP控股有限公司
发明人	T·J·V·布兰夸特
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	乐洪咏;朱黎明

摘要

一种用于形成热稳定有机硅聚合物膜的方法，包括：(i)在反应空间中使用含硅前体在衬底上沉积有机硅聚合物，其主链由硅原子构成；以及(ii)以增加Si‑H键的方式在反应空间中不存在前体的情况下将在步骤(i)中沉积的所述有机硅聚合物暴露于氢等离子体，并且减小所述有机硅聚合物中的C‑H键而不沉积有机硅聚合物。

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