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掺锰硅基磁性半导体薄膜材料及制法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200310112601.3
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2003-12-11
  • 申请人:
    南京大学
著录项信息
专利名称掺锰硅基磁性半导体薄膜材料及制法
申请号CN200310112601.3申请日期2003-12-11
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-11-17公开/公告号CN1547222
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人南京大学申请人地址
江苏省南京市汉口路22号物理系 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京大学当前权利人南京大学
发明人张凤鸣;都有为
代理机构南京苏高专利事务所代理人成立珍
摘要
掺锰硅基磁性半导体薄膜材料,锰与硅的摩尔比为1-10%的薄膜材料。其厚度为1-10,000nm。掺锰硅基磁性半导体薄膜材料的制法包括以下步骤:在硅薄膜材料真空锰溅射的方法,制成锰与硅的摩尔比为1-10%的厚度为1-10微米的硅薄膜,然后以温度为900-1400℃的范围内且在保护性气氛条件下将硅材料的结晶化,时间为20min-2小时,得到具有半导体性能要求的硅材料。掺锰硅材料表现出了铁磁性且具有高于400K的铁磁转变温度;同时,其电传输特性也呈半导体特性。

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