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一种对准光源装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200810204951.5
  • IPC分类号:G03F7/20;G03F9/00;G02B27/09;G02B1/10
  • 申请日期:
    2008-12-30
  • 申请人:
    上海微电子装备有限公司
著录项信息
专利名称一种对准光源装置
申请号CN200810204951.5申请日期2008-12-30
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2009-06-03公开/公告号CN101446775
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0;;;G;0;2;B;2;7;/;0;9;;;G;0;2;B;1;/;1;0查看分类表>
申请人上海微电子装备有限公司申请人地址
上海市张江高科技园区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人王诗华;徐荣伟
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
本发明提出一种对准光源装置,包括至少两套波长不同的激光单元,所述激光单元包括激光器、光强调制器、相位调制器以及传输光纤,在光束的光路上放置一光束整形装置,所述光束整形装置包括第一、第二旋光片,第一、第二偏振分束器,第一、第二整形器件以及第一、第二反射镜。本发明缩小了激光光斑,提高了照射在对准标记上的激光光能利用率及对准信号强度,提高了对准信号信噪比,有利于提高对准精度。

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