一种用于PVD设备的配管

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921973613.8
IPC分类号：F16L9/00;F16L23/032
申请日期：
2019-11-15
申请人：
苏州三原流体科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种用于PVD设备的配管
申请号	CN201921973613.8	申请日期	2019-11-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F16L9/00 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F1 一般工程 F16 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 F16L 管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法 F16L9/00 刚性管	IPC分类号	F;1;6;L;9;/;0;0;;;F;1;6;L;2;3;/;0;3;2查看分类表>
申请人	苏州三原流体科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市高新区浒青路156号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州三原流体科技有限公司	当前权利人	苏州三原流体科技有限公司
发明人	钱万勇
代理机构	北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	赵瑞鹏

摘要

本实用新型提供一种用于PVD设备的配管，涉及PVD设备技术领域，包括第一法兰、第二法兰和连接第一法兰和第二法兰的管体，所述第一法兰与所述管体的一端密封连接，所述第二法兰与所述管体的另一端密封连接，所述管体设有45°折弯段。通过将真空环境供应设备的真空传输配管设置45°折弯段，替换原有的90°折弯段，大幅降低了真空传输管道的流体阻力，有效提升了真空环境供应设备的生产效率，降低了PVD设备整体的生产成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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