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扫描反射镜振幅测量装置及测量方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610614644.9
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2016-07-29
  • 申请人:
    上海微电子装备(集团)股份有限公司
著录项信息
专利名称扫描反射镜振幅测量装置及测量方法
申请号CN201610614644.9申请日期2016-07-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-02-06公开/公告号CN107664922A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人上海微电子装备(集团)股份有限公司申请人地址
上海市浦东新区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人王兴海;袁明波;王海江
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)代理人屈蘅;李时云
摘要
本发明揭示了一种扫描反射镜振幅测量装置及测量方法。所述扫描反射镜振幅测量装置包括光源,输出光信号;光阑,调节所述光源输出光信号的光斑的大小以及形状;扫描反射镜设置结构,用于安置待测量的扫描反射镜,所述扫描反射镜安置后周期性反射所述光信号;光电传感器,包括3个以上的传感器单元,探测并采集经所述扫描反射镜反射后的光信号;信号采集及处理器,处理所述光电传感器采集到的信号,获得所述扫描反射镜的振幅。由此,能够在扫描反射镜应用前对扫描反射镜特性进行方便测量,识别扫描发射镜性能好坏。

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