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一种空气采样系统稳固装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200820054513.0
  • IPC分类号:G01N1/24
  • 申请日期:
    2008-01-07
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
著录项信息
专利名称一种空气采样系统稳固装置
申请号CN200820054513.0申请日期2008-01-07
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N1/24IPC分类号G;0;1;N;1;/;2;4查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请人地址
变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
发明人尹兰
代理机构上海思微知识产权代理事务所代理人屈蘅;李时云
摘要
本实用新型提供了一种空气采样系统稳固装置,该空气采样系统包括依次连接的采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵。现有技术中无空气采样系统稳固装置,易发生采样瓶和缓冲瓶倾倒而使水进入且损坏空气采样泵的事件。本实用新型的空气采样系统稳固装置包括相互连接的一上盖和一下盖,该上盖上开设有形状分别与采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵相匹配的第一开口、第二开口和第三开口,该采样瓶、缓冲瓶和空气采样泵分别经由第一开口、第二开口和第三开口设置在该稳固装置中。采用本实用新型可避免采样瓶和缓冲瓶倾倒而使水进入且损坏空气采样泵的事件发生,另外可提高空气采样系统的安全可靠性。

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