一种复合透明导电薄膜及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201611066277.X
IPC分类号：C23C14/08;C23C14/20;C23C14/18
申请日期：
2016-11-28
申请人：
陕西师范大学

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著录项信息

专利名称	一种复合透明导电薄膜及其制备方法
申请号	CN201611066277.X	申请日期	2016-11-28
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2017-05-31	公开/公告号	CN106756789A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/06 以镀层材料为特征的（C23C 14/04优先）〔4〕 C23C14/08 氧化物（C23C 14/10优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;2;0;;;C;2;3;C;1;4;/;1;8查看分类表>
申请人	陕西师范大学	申请人地址	陕西省西安市长安南路199号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	陕西师范大学	当前权利人	陕西师范大学
发明人	刘生忠;朱学杰;冯江山;肖锋伟
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	李宏德

摘要

本发明一种复合透明导电薄膜及其制备方法，所述的复合透明导电薄膜，包括基底，在基底上沉积的至少一层的掺杂氧化锌透明导电薄膜，在最顶层沉积的ITO层，以及在复合透明导电薄膜中沉积的至少一层的重掺杂透明导电层薄膜或纳米颗粒。所述的制备方法，包括如下步骤，步骤1，在经过预处理的基底上沉积第一层掺杂氧化锌透明导电薄膜层；步骤2，然后制备一层厚度不超过2000纳米的重掺杂透明导电层薄膜，或者粒径不超过2000纳米的纳米颗粒；步骤3，在重掺杂透明导电层薄膜或纳米颗粒上沉积一层掺杂氧化锌透明导电薄膜层；步骤4，重复步骤2和/或3达到需要的技术参数，并在顶层沉积一层ITO层，制备得到复合透明导电薄膜。

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