具有导电层的半导体装置和液晶显示装置

发明专利无效专利

申请号：
CN00135569.4
IPC分类号：--
申请日期：
2000-12-13
申请人：
三菱电机株式会社;精工爱普生股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	具有导电层的半导体装置和液晶显示装置
申请号	CN00135569.4	申请日期	2000-12-13
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2001-06-20	公开/公告号	CN1299983
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	三菱电机株式会社;精工爱普生股份有限公司	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生股份有限公司	当前权利人	精工爱普生股份有限公司
发明人	久保田健;村井一郎
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	王永刚

摘要

薄膜场效应晶体管的阈值电压稳定且提高了电容的耐久性和可靠性的半导体装置、液晶显示装置，具备衬底(1)和半导体层(5、7)和电介质膜(35)。半导体层(5、7)包括在衬底(1)上边形成的薄膜场效应晶体管(17、18)的沟道区(5、7)。导电层(3)与在衬底(1)上边形成的半导体层(5、7)用同一层构成。电介质膜(35)在导电层(3)上边形成。沟道区(5、7)内的导电性杂质浓度在1016原子/cm3以下。电介质膜(35)中的导电性杂质浓度在1017原子/cm3以下。

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