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应用于激光切割的同轴CCD成像系统

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201210032496.1
  • IPC分类号:B23K26/03;B23K26/38
  • 申请日期:
    2012-02-14
  • 申请人:
    中国科学院福建物质结构研究所
著录项信息
专利名称应用于激光切割的同轴CCD成像系统
申请号CN201210032496.1申请日期2012-02-14
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2012-07-11公开/公告号CN102554463A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23K26/03IPC分类号B;2;3;K;2;6;/;0;3;;;B;2;3;K;2;6;/;3;8查看分类表>
申请人中国科学院福建物质结构研究所申请人地址
福建省福州市杨桥西路155号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院福建物质结构研究所当前权利人中国科学院福建物质结构研究所
发明人黄见洪;翁文;吴鸿春;刘华刚;葛燕;阮开明;邓晶;郑晖;李锦辉;史斐;戴殊韬;林文雄
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开一种应用于激光切割的同轴CCD成像系统,属光电子领域,可应用于激光切割,激光钻孔等激光加工方面。本发明包括低倍CCD成像组件,上高倍CCD成像组件和下高倍CCD成像组件等三个成像组件,三个成像组件在同一个光轴上对工件进行成像;激光从水平方向入射,经过聚焦镜组汇聚和45度激光全反镜反射聚焦于工件上进行加工;三个CCD成像组件通过激光加工光轴同轴成像。本发明中三个CCD成像组件不需要特殊设计,都可以采用市面上成熟的镜组,不仅能满足LED晶圆激光切割高精度的成像要求,同时大大降低了设备成本,对于提高设备厂家的经济效益具有重要的意义。

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