外观检查装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201680023617.2
IPC分类号：G01N21/956;G03F1/84
申请日期：
2016-03-07
申请人：
V科技股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	外观检查装置
申请号	CN201680023617.2	申请日期	2016-03-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-01-02	公开/公告号	CN107533015A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/956 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕 G01N21/956 检测物品表面上的图案〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;6;;;G;0;3;F;1;/;8;4查看分类表>
申请人	V科技股份有限公司	申请人地址	日本神奈川县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社V技术,株式会社V,技术	当前权利人	株式会社V技术,株式会社V,技术
发明人	佐藤敬行
代理机构	北京同达信恒知识产权代理有限公司	代理人	黄志华;洪秀川

摘要

本发明提供一种使光掩膜的检查迅速化的技术。在外观检查装置中，透射照明光源照射透射光掩膜的光。反射照明光源在透射照明光源的照射中照射被光掩膜反射的光。物镜将透射过光掩膜的透射光和由光掩膜反射的反射光转换为平行光。分光部将物镜转换了的平行光分离为透射光和反射光。透射光用成像透镜对分光部分离出的透射光进行成像。反射光用成像透镜对分光部分离出的反射光进行成像。拍摄部对透射光用成像透镜成像出的透射光和反射光用成像透镜成像出的反射光进行拍摄。

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