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半导体器件及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310166162.8
  • IPC分类号:H01L23/492
  • 申请日期:
    2013-05-08
  • 申请人:
    爱思开海力士有限公司
著录项信息
专利名称半导体器件及其制造方法
申请号CN201310166162.8申请日期2013-05-08
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-06-18公开/公告号CN103871994A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/492IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;4;9;2查看分类表>
申请人爱思开海力士有限公司申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人爱思开海力士有限公司当前权利人爱思开海力士有限公司
发明人李起洪;皮昇浩;孙玄洙
代理机构北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)代理人俞波;许伟群
摘要
一种半导体器件,其通过使用分离地形成在第一焊盘结构和第二焊盘结构中的非对称阶梯形状来形成字线的焊盘部分从而至少局部实现了接触区面积减小。与本领域已知的制造工艺相比,接触区面积减小。这使得器件集成度提高、制造工艺复杂性减小。

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