一种超厚含氢类金刚石涂层的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201711452179.4
IPC分类号：C23C14/06;C23C14/02;C23C14/18;C23C14/34;C23C14/35;C23C28/00
申请日期：
2017-12-28
申请人：
核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司

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专利名称	一种超厚含氢类金刚石涂层的制备方法
申请号	CN201711452179.4	申请日期	2017-12-28
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-07-05	公开/公告号	CN109972089A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/06 以镀层材料为特征的（C23C 14/04优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;0;2;;;C;2;3;C;1;4;/;1;8;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;2;8;/;0;0查看分类表>
申请人	核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司	申请人地址	四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	核工业西南物理研究院,成都同创材料表面科技有限公司	当前权利人	核工业西南物理研究院,成都同创材料表面科技有限公司
发明人	杨发展;沈丽如;颜复秀;许泽金;唐德礼;金凡亚
代理机构	核工业专利中心	代理人	高安娜

摘要

本发明属于低温等离子体材料表面处理技术，具体为一种超厚含氢类金刚石涂层的制备方法，工件表面清洗除气之后，再进行等离子体清洗，依次沉积金属中间层、金属碳化物中间层和类金刚石涂层，类金刚石涂层分18层依次沉积，沉积方式为磁控溅射，金属磁控靶材为钛、铬、钨和钼金属靶材，通过本方法制备的类金刚石涂层致密、摩擦系数低、耐腐蚀性能优异、膜基结合强度高，厚度大于100μm，适合高精度抛光等光学元件部件。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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