一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构

发明专利有效专利

申请号：
CN202010994935.1
IPC分类号：C30B35/00;C30B29/06
申请日期：
2020-09-21
申请人：
江苏晶品新能源科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构
申请号	CN202010994935.1	申请日期	2020-09-21
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-12-18	公开/公告号	CN112095156A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B35/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B35/00 未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的一般装置〔3，5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;5;/;0;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	江苏晶品新能源科技有限公司	申请人地址	江苏省扬州市高邮市送桥镇天山工业集中区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏晶品新能源科技有限公司	当前权利人	江苏晶品新能源科技有限公司
发明人	陈春成;戚建静
代理机构	北京科家知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	暂无

摘要

本发明涉及单晶硅片加工技术领域，且公开了一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构，包括移动底座，所述移动底座顶部左侧固定安装有第一电动滑台，所述第一电动滑台的滑块转动连接有位于第一电动滑台右侧的转动板，所述转动板底部滑动连接有连接杆，所述连接杆底部固定连接有连接头，所述连接头前侧固定安装有控制装置。该夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构，解决了单晶硅片是单晶硅棒经由一系列工艺切割而成的，而单晶硅棒从单晶炉中取出时需要对其进行夹持，但是现有的夹紧机构在夹持时只是通过摩擦力进行夹持，无法保证夹持稳定性，而且夹持取出后无法对单晶硅棒的角度方向进行调节，不便于安放的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供