位移检测装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201110167567.4
IPC分类号：G01B11/02;G01B9/02;G01D5/38
申请日期：
2011-06-20
申请人：
株式会社森精机制作所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	位移检测装置
申请号	CN201110167567.4	申请日期	2011-06-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-02-29	公开/公告号	CN102364298A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;G;0;1;B;9;/;0;2;;;G;0;1;D;5;/;3;8查看分类表>
申请人	株式会社森精机制作所	申请人地址	日本奈良县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	德马吉森精机株式会社	当前权利人	德马吉森精机株式会社
发明人	田宫英明
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘新宇;张会华

摘要

一种位移检测装置，具有：衍射光栅(2)、光栅干涉仪(4、5)以及相对位置信息输出部(6、7)。光栅干涉仪(4、5)具有光源(3)、反射器(12、13)、分光器(17)以及光接收部(18、19)。反射器(12、13)反射由衍射光栅(2)所衍射的一次衍射光(L1、-L1)，并使所反射的一次衍射光(L1、-L1)入射到与来自光源(3)的光(L)所照射到的位置基本上相同的位置。此外，反射器(12、13)使一次衍射光(L1、-L1)以与光从光源(3)入射到衍射光栅(2)的入射角度不同或与一次衍射光(L1、-L1)透过衍射光栅(2)或被衍射光栅(2)反射的角度不同的角度入射到衍射光栅(2)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供