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工件传送装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200680031580.4
IPC分类号：H01L21/687;B25J15/00
申请日期：
2006-08-31
申请人：
艾克塞利斯技术公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	工件传送装置
申请号	CN200680031580.4	申请日期	2006-08-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2008-08-27	公开/公告号	CN101253616
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/687 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/683 用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L 21/68）〔8〕 H01L21/687 使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8;7;;;B;2;5;J;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	艾克塞利斯技术公司	申请人地址	美国马萨诸塞州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	艾克塞利斯技术公司	当前权利人	艾克塞利斯技术公司
发明人	R·格勒
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	曾祥夌;杨松龄

摘要

一种用于操控一个或多个工件、诸如半导体晶片的工件传送组件，包括多个共同作用的支臂，其包括一个或多个对应于一工件的外径的弓形部分。该弓形部分具有一工件接合表面，其设计成适于接合该工件的一外部边缘。这些共同作用的支臂的至少一个包括一挠曲部分组件，其对于该工件的外部边缘上来自该工件接合表面的压力作出响应，允许该工件接合表面于一远离该工件的方向中的变形。

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