石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源

发明专利有效专利

申请号：
CN201910432869.6
IPC分类号：C23C14/26
申请日期：
2019-05-22
申请人：
南开大学

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专利名称	石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源
申请号	CN201910432869.6	申请日期	2019-05-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-08-09	公开/公告号	CN110106477A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/26 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕 C23C14/26 电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;6查看分类表>
申请人	南开大学	申请人地址	天津市南开区卫津路94号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南开大学	当前权利人	南开大学
发明人	刘玮;孙云;张运祥;周志强
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	任岩

摘要

本公开提供一种石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源，包括：坩埚，用于盛放镀膜材料；石墨芯裂解器，其设置于所述坩埚内的中部，且位于所述镀膜材料的上方，其上设置有连通所述镀膜材料与所述坩埚外部环境的通道；加热单元，其环绕所述坩埚的侧壁设置，用于加热所述坩埚中的所述镀膜材料，使其蒸发并穿过所述石墨芯裂解器上的通道；隔热层，其环绕所述加热单元设置，用于隔绝所述加热单元与外界的能量交换。本公开提供的石墨芯结构的高温裂解金属蒸发源使用石墨芯裂解器。使用石墨芯，解决了坩埚口部镀膜材料的冷凝问题，避免了冷凝的颗粒被带到薄膜内部，提升了沉积薄膜的质量。

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