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一种具有防静电功能的新型UV切割膜

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201520242283.0
  • IPC分类号:C09J7/02;H01L21/683
  • 申请日期:
    2015-04-20
  • 申请人:
    上海东煦电子科技有限公司
著录项信息
专利名称一种具有防静电功能的新型UV切割膜
申请号CN201520242283.0申请日期2015-04-20
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C09J7/02IPC分类号C;0;9;J;7;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人上海东煦电子科技有限公司申请人地址
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区华申路218号1幢2层202部位 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海东煦电子科技有限公司当前权利人上海东煦电子科技有限公司
发明人王成
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型记载了一种具有防静电功能的新型UV切割膜,包括基材膜层、UV胶粘膜层以及离型膜层,且基材膜层贴合于UV胶粘膜层的上表面,而离型膜层贴合于UV胶粘膜层的下表面;其中,在基材膜层的上表面覆盖有抗静电涂层,该抗静电涂层由防静电涂布液构成且厚度为0.001~0.004mm。由于采用了上述技术,即本实用新型通过在基材膜层的表面喷涂一层0.001~0.004mm厚的防静电涂层,使得基材膜层的表面电阻率达到106Ω/sq~108Ω/sq,从而降低了晶圆切割捡取晶粒时产生静电的可能性,进而避免了对芯片损伤的风险,同时具备了加工简单和延展性好等优点,并最终达到了提高产品良率和降低生产成本等目的。

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