一种线材类金刚石涂层加工装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201810162946.6
IPC分类号：C23C14/56;C23C14/06;C23C14/35;C23C16/26;C23C16/54
申请日期：
2018-02-26
申请人：
温州职业技术学院

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著录项信息

专利名称	一种线材类金刚石涂层加工装置
申请号	CN201810162946.6	申请日期	2018-02-26
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2018-07-27	公开/公告号	CN108330464A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/56 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/56 连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;6;/;2;6;;;C;2;3;C;1;6;/;5;4查看分类表>
申请人	温州职业技术学院	申请人地址	浙江省温州市瓯海区东方南路38号温州市国家大学科技园孵化器变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	温州职业技术学院	当前权利人	温州职业技术学院
发明人	郎文昌;王向红;刘伟
代理机构	温州名创知识产权代理有限公司	代理人	陈加利

摘要

本发明公开了一种线材类金刚石涂层加工装置，包括有用于线材放线和收线连接的放线卷和收线卷、以及设置于放线卷和收线卷之间用于在线材上加工类金刚石涂层的类金刚石涂层放电管，所述的类金刚石涂层放电管包括有放电管主体，该放电管主体包括有磁靴环、绝缘套管、电极和水冷套，所述磁靴环上装配多组磁铁，所述磁靴转动齿固定在磁靴环上，外接传动结构可转动磁靴环。本发明不仅可在高真空下对微型尺寸件、线材件表面磁控溅射PECVD沉积类金刚石涂层，而且还可在低真空下利用环形管气体放电，在微型尺寸件、线材件产生大束流高离化喷涂类金刚石涂层。

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