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一种三栅组件及含有该三栅组件的离子源

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710898672.2
  • IPC分类号:C23C14/46
  • 申请日期:
    2017-09-28
  • 申请人:
    中国电子科技集团公司第四十八研究所
著录项信息
专利名称一种三栅组件及含有该三栅组件的离子源
申请号CN201710898672.2申请日期2017-09-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-04-05公开/公告号CN109576664A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/46IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;4;6查看分类表>
申请人中国电子科技集团公司第四十八研究所申请人地址
湖南省长沙市天心区新开铺路1025号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国电子科技集团公司第四十八研究所当前权利人中国电子科技集团公司第四十八研究所
发明人陈特超
代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)代理人周长清;徐好
摘要
本发明公开了一种三栅组件,包括依次平行设置的内栅网、中栅网和外栅网,所述内栅网内侧设有内法兰,所述内栅网安装于所述内法兰上,所述外栅网外侧设有外法兰,所述外栅网安装于所述外法兰上,所述内法兰与所述中栅网之间、以及所述外法兰与所述中栅网之间均夹设有绝缘隔离件,所述中栅网上设有用于吸收热变形的应力吸收槽。本发明进一步公开了一种离子源,包括内罩、位于内罩内部的放电室、以及位于放电室内的阴极和阳极,还包括上述的三栅组件,三栅组件中的内法兰与所述放电室紧贴,三栅组件中的外法兰与所述内罩相连。本发明具有结构简单、成本低、有利于减少栅网间距离、可防止栅网间形变短路等优点。

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