一种炉管清洗方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201410106604.4
IPC分类号：B08B9/027
申请日期：
2014-03-20
申请人：
上海华力微电子有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种炉管清洗方法
申请号	CN201410106604.4	申请日期	2014-03-20
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2014-07-02	公开/公告号	CN103894381A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B9/027 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B9/00 用专门的方法或设备清洁空心物品（B08B 3/12，B08B 6/00优先）〔2〕 B08B9/02 清洁管道、管子、管子系统或管道系统（用化学方法清洁金属管的装置入C23G 3/04）〔5〕 B08B9/027 清洁内表面；去除堵塞物〔7〕	IPC分类号	B;0;8;B;9;/;0;2;7查看分类表>
申请人	上海华力微电子有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海华力微电子有限公司	当前权利人	上海华力微电子有限公司
发明人	江润峰
代理机构	上海申新律师事务所	代理人	吴俊

摘要

本发明公开了一种炉管清洗方法，涉及微电子领域。该方法为：向炉管通入氧气；向所述炉管注入55～65分钟的携带有二氯乙烯的氮气；停止注入所述氮气；向所述炉管通入水气；停止通入所述水气。本方法通过二氯乙烯和氧气在高温下可以去除炉管中碱金属离子和有机物残余；通过长时间的通入氧气去除了炉管中二氯乙烯的残余；通过水气去除了炉管中的重金属离子。本发明消除了炉管中累积的重金属，并去除了炉管中二氯乙烯的残余，达到了提高了后续工艺的稳定性的目的。

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