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真空泵叶片装配质量检测方法及专用装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810011650.0
  • IPC分类号:G01B11/02
  • 申请日期:
    2008-06-04
  • 申请人:
    中国科学院沈阳自动化研究所
著录项信息
专利名称真空泵叶片装配质量检测方法及专用装置
申请号CN200810011650.0申请日期2008-06-04
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-12-09公开/公告号CN101598531
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B11/02IPC分类号G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人中国科学院沈阳自动化研究所申请人地址
辽宁省沈阳市东陵区南塔街114号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院沈阳自动化研究所当前权利人中国科学院沈阳自动化研究所
发明人朱军;吴景辉;史勃;张环宇;荣胜波
代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司代理人许宗富;周秀梅
摘要
一种真空泵叶片装配质量的检测方法及其专用装置,属于真空泵叶片装配检测技术领域。其装置是在机床本体上部安装的叶片卡紧装置及机械手,工作台面上固定有用于安装真空泵叶片的底座,机床本体工作台面下方的空腔内安装有电机驱动装置,其减速机的输出轴穿过底座,安装叶片时,减速机的输出轴与工作台面上部的叶片卡紧装置相连,在工作台面上叶片一侧安装传感器定位装置,其固定支架上固定有三个激光位移传感器,分别用于检测叶片上盖圆周测点位移值和叶片端部圆周测点位移值,工控计算机分别与卡紧装置、伺服电机驱动器、激光位移传感器相连,用于控制整个装置的工作。本发明测量精度高,速度快,对产品逐件检测,杜绝了漏检的发生。

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