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真空泵

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200680019962.5
  • IPC分类号:F04D19/04;F04D17/16;F04D29/04;F04D29/66
  • 申请日期:
    2006-05-26
  • 申请人:
    爱德华兹有限公司
著录项信息
专利名称真空泵
申请号CN200680019962.5申请日期2006-05-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2008-05-28公开/公告号CN101189436
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F04D19/04IPC分类号F;0;4;D;1;9;/;0;4;;;F;0;4;D;1;7;/;1;6;;;F;0;4;D;2;9;/;0;4;;;F;0;4;D;2;9;/;6;6查看分类表>
申请人爱德华兹有限公司申请人地址
英国西萨塞克斯郡 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人爱德华兹有限公司当前权利人爱德华兹有限公司
发明人B·D·布鲁斯特;C·-C·休
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人曾祥夌;赵辛
摘要
一种涡轮分子真空泵(54),其包括壳体(70)和转子,转子由轴承布置(64)支承以便相对壳体(70)转动。轴承布置(64)包括由弹性支承件(80)以径向方向和轴向方向支承的轴承(72、74、76、78),弹性支承件(80)包括由多个柔性构件(84)连接的内环形部(86)和外环形部(88),弹性支承件(80)具有处于50牛顿/毫米至500牛顿/毫米范围内的径向刚度。

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