一种多晶硅锭及其制备方法和多晶硅片

发明专利有效专利

申请号：
CN201610828123.3
IPC分类号：C30B29/06;C30B28/06
申请日期：
2016-09-18
申请人：
江西赛维LDK太阳能高科技有限公司

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专利名称	一种多晶硅锭及其制备方法和多晶硅片
申请号	CN201610828123.3	申请日期	2016-09-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-12-21	公开/公告号	CN106245113A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/06 硅〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;2;8;/;0;6查看分类表>
申请人	江西赛维LDK太阳能高科技有限公司	申请人地址	江西省新余市高新经济开发区赛维工业园专利办公室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江西赛维LDK太阳能高科技有限公司	当前权利人	江西赛维LDK太阳能高科技有限公司
发明人	鄢俊琦;陈红荣;胡动力;何亮
代理机构	广州三环专利商标代理有限公司	代理人	郝传鑫;熊永强

摘要

本发明公开了一种多晶硅锭的制备方法，包括：提供铸锭炉，铸锭炉包括坩埚和隔热笼；在坩埚底部铺设籽晶，籽晶之间留有缝隙，形成籽晶层；在籽晶层上方填装硅料；加热使坩埚底部的温度上升，待籽晶表面开始熔化形成熔融液时，开启隔热笼并提升隔热笼的高度，以降低坩埚底部温度，熔融液填充在籽晶之间的缝隙中并凝固，得到致密的籽晶层，继续加热使硅料熔化形成硅熔体；待硅料熔化后形成的固液界面刚好处在或深入致密的籽晶层时，调节热场形成过冷状态，使硅熔体在籽晶层基础上开始长晶；待全部硅熔体结晶完后，经退火冷却得到多晶硅锭。本发明在致密的籽晶层上形核结晶，可以避免杂质渗透到籽晶中，同时形核容易控制，得到的多晶硅锭质量较好。

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