一种六氟丙烷基PMO薄膜的制备方法及应用

发明专利有效专利

申请号：
CN201510648385.7
IPC分类号：C08J5/18;C08J9/26;C08L83/08;C08G77/26;H01L23/532
申请日期：
2015-10-09
申请人：
中国科学院深圳先进技术研究院

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著录项信息

专利名称	一种六氟丙烷基PMO薄膜的制备方法及应用
申请号	CN201510648385.7	申请日期	2015-10-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-03-02	公开/公告号	CN105367810A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C08J5/18 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C08 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 C08J 加工；配料的一般工艺过程；不包括在C08B，C08C，C08F，C08G或C08H小类中的后处理（塑料的加工，如成型入B29）〔2〕 C08J5/00 含有高分子物质的制品或成形材料的制造（半透膜的制造入B01D 67/00至B01D 71/00）〔2〕 C08J5/18 薄膜或片材的制造〔2〕	IPC分类号	C;0;8;J;5;/;1;8;;;C;0;8;J;9;/;2;6;;;C;0;8;L;8;3;/;0;8;;;C;0;8;G;7;7;/;2;6;;;H;0;1;L;2;3;/;5;3;2查看分类表>
申请人	中国科学院深圳先进技术研究院	申请人地址	广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院深圳先进技术研究院	当前权利人	中国科学院深圳先进技术研究院
发明人	张国平;孙蓉;张贾伟
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	巩克栋;侯桂丽

摘要

本发明涉及一种六氟丙烷基PMO薄膜的制备方法及应用；制备方法包括如下步骤：(1)制备六氟丙烷基前驱体分子溶液；在干燥氮气的保护下，向异氰酸‑3‑(三乙氧硅基)丙酯的丙酮溶液中加入2,2‑双(3‑氨基‑4‑羟苯基)六氟丙烷的丙酮溶液，冰浴中反应1.5～3h，加热至室温并保温2～5h，制得六氟丙烷基前驱体分子溶液；(2)制备涂膜溶液：前驱体分子溶液中加入模板剂、溶剂和稀盐酸，制得涂膜溶液，模板剂的添加量为0～100％；(3)制备PMO薄膜；将涂膜溶液涂于基底表面，固化，制得PMO薄膜。本制备方法通过增大分子孔隙体积、降低分子极性、提高交联度，达到新型PMO薄膜介电常数的降低和力学性质的保障。

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