掩模及其制造方法、有机电致发光装置及其制造方法、电子设备

发明专利无效专利

申请号：
CN200410104536.4
IPC分类号：--
申请日期：
2004-12-17
申请人：
精工爱普生株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	掩模及其制造方法、有机电致发光装置及其制造方法、电子设备
申请号	CN200410104536.4	申请日期	2004-12-17
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2005-06-22	公开/公告号	CN1630438
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	精工爱普生株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	四谷真一
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	李香兰

摘要

本发明提供一种可以高精度地蒸镀掩模，并且没有由冲击等造成的破损的掩模、该掩模的制造方法、使用该掩模的有机电致发光装置的制造方法、利用该制造方法制成的有机电致发光装置及电子设备，该掩模是具备多个贯穿由(100)面方位硅构成的基板的贯穿孔(H)的掩模(M)，其特征是，在贯穿孔(H)的壁部(20)，设有相对于基板的主面(MT、MB)而沿垂直方向延伸的垂直部(20A)、从该垂直部(20A)以规定的角度倾斜而延伸的倾斜部(20B)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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