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多关节机器人

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010188559.3
  • IPC分类号:B25J9/06;B25J18/00;B25J19/00;H01L21/677
  • 申请日期:
    2007-06-15
  • 申请人:
    株式会社安川电机
著录项信息
专利名称多关节机器人
申请号CN201010188559.3申请日期2007-06-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2010-10-20公开/公告号CN101863015A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B25J9/06IPC分类号B;2;5;J;9;/;0;6;;;B;2;5;J;1;8;/;0;0;;;B;2;5;J;1;9;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人株式会社安川电机申请人地址
日本福冈县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社安川电机当前权利人株式会社安川电机
发明人末吉智;田中谦太郎;松尾智弘
代理机构北京信慧永光知识产权代理有限责任公司代理人李雪春;武玉琴
摘要
本发明提供一种防止上下移动轴的灰尘产生所引起的基板的污染,同时提高了生产效率的将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。具体为,一种多关节机器人,具备:载置搬运物的手部;与所述手部连接,具备至少2个以上的旋转关节,使所述手部向一个方向移动地进行伸缩,配置为在轴向上对向的多关节臂;对所述多关节臂和上下移动的移动机构进行连接的支撑构件;及安装于所述移动机构的具有旋转功能的台座,所述移动机构在与所述手部的移动方向相同的方向上配置在支柱上,配置于所述移动机构的支撑构件在与所述手部的移动方向正交的方向上突出,与所述多关节臂连接。

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