一种用于微球全表面缺陷检测的辅助测量装置及测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201911320166.0
IPC分类号：G01N21/95;G01N21/01
申请日期：
2019-12-19
申请人：
上海交通大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种用于微球全表面缺陷检测的辅助测量装置及测量方法
申请号	CN201911320166.0	申请日期	2019-12-19
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-04-10	公开/公告号	CN110987962A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/95 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕 G01N21/95 特征在于待测物品的材料或形状（G01N 21/89至G01N 21/91，G01N 21/94优先）〔7〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;9;5;;;G;0;1;N;2;1;/;0;1查看分类表>
申请人	上海交通大学	申请人地址	上海市闵行区东川路800号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海交通大学	当前权利人	上海交通大学
发明人	陈欣;郑润泽;乔潇悦;丁国清
代理机构	上海恒慧知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	徐红银

摘要

本发明涉及光学检测空间物体表面三维形貌技术领域，具体地，涉及一种用于微球全表面缺陷检测的辅助测量装置及测量方法，包括主轴、辅助轴、自转电机、连接板、转台和xyz方向位移台等，主轴通过转台可在竖直平面内自由转动，配合主轴自转电机，按照不同纬度方向的环带依次从顶端方向到赤道方向将微球表面展露在白光干涉显微物镜下，主轴处于水平位置时，主辅轴系正交放置实现微球的空间位置交换，通过使微球规律地旋转获得覆盖微球全表面的形貌数据。本发明通过白光扫描干涉测量，确保采集图像间形成覆盖，达到微球全表面无遗漏测量，解决了现有技术中使用原子力显微镜测量所造成的轨迹间孤立缺陷点容易被忽略、信息量偏低等局限性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供