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一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201720777766.X
  • IPC分类号:C23C16/48
  • 申请日期:
    2017-06-29
  • 申请人:
    深圳市森美协尔科技有限公司
著录项信息
专利名称一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置
申请号CN201720777766.X申请日期2017-06-29
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/48IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;8查看分类表>
申请人深圳市森美协尔科技有限公司申请人地址
广东省深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋301 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市森美协尔科技有限公司当前权利人深圳市森美协尔科技有限公司
发明人刘世文;刘志奇
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置,包括:第一激光器和第二激光器以及沿光路设置的第一反射镜、第二放射镜、透镜、能量传感器、第三反射镜和物镜。由于本申请采用了两个不同类型激光器,即第一激光器用于对产品进行表面微镀膜,第二激光器用于对产品缺陷进行修复,使得激光诱导气相沉积系统满足不同能量和类型激光束的需求,又由于本申请采用了透镜将激光器射出的激光束按预设的比例进行反射和透射,并利用能量传感器根据射入的反射激光束能量大小和预设的比例,计算出透射激光束的能量大小,使得可实时监控照射在待镀物件表面的透射激光束能量大小,控制每次镀膜时所用激光的能量大小,提高镀膜工艺水平和镀膜效率。

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