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基板载置装置和基板处理装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510093847.3
  • IPC分类号:H01L21/673;H01L21/67
  • 申请日期:
    2015-03-03
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称基板载置装置和基板处理装置
申请号CN201510093847.3申请日期2015-03-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-09-09公开/公告号CN104900569A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人伊藤毅
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司代理人龙淳
摘要
本发明提供抑制支承销的设置数量的增加并且能够将薄且大型的基板载置在载置台上的基板载置装置等。设置于基板载置装置的载置台(3)具有能够载置具有0.5毫米以下的厚度尺寸的基板(F)的载置面(30),从下表面侧支承基板(F)的多个支承销(4)设置成在上下方向上贯通载置台(3),升降机构(45~47)使多个支承销(4)在支承基板(F)的支承位置和下方侧的退避位置之间升降。在多个支承销(4)中的至少一个的前端部设置有从下表面侧支承基板(F)时产生弹性变形而与基板(F)的接触面积变大的弹性部件(42)。

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