一种射频电感耦合等离子体制备氮化镓纳米粉末的方法

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专利名称	一种射频电感耦合等离子体制备氮化镓纳米粉末的方法
申请号	CN202011419588.6	申请日期	2020-12-07
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-06	公开/公告号	CN113213436A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B21/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B21/00 氮；其化合物 C01B21/06 氮与金属、硅或硼的二元化合物	IPC分类号	C;0;1;B;2;1;/;0;6;;;B;8;2;Y;3;0;/;0;0查看分类表>
申请人	深圳先进技术研究院	申请人地址	广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳先进技术研究院	当前权利人	深圳先进技术研究院
发明人	黄逸凡;陆星铭;张永亮
代理机构	北京市诚辉律师事务所	代理人	李玉娜

摘要

本发明公开了一种射频电感耦合等离子体制备氮化镓纳米粉末的方法，包括以下步骤：1)产生等离子体焰；2)镓源与氨气在射频电感耦合等离子体中反应形成氮化镓蒸汽；3)在等离子体焰体的尾端形成淬冷区域，对氮化镓蒸汽进行冷却得到氮化镓纳米粉末。该方法制备工艺简单、反应控制度好且直接得到高纯氮化镓纳米粉末。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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