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加压装置及控制方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410575558.2
  • IPC分类号:H01L21/67;H01L21/687
  • 申请日期:
    2010-09-28
  • 申请人:
    株式会社尼康
著录项信息
专利名称加压装置及控制方法
申请号CN201410575558.2申请日期2010-09-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-02-25公开/公告号CN104377151A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人株式会社尼康申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社尼康当前权利人株式会社尼康
发明人田中庆一;泉重人
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人李洋;杨林森
摘要
本发明提供加压装置及控制方法。在通过加压来接合基板的情况下,基板面内的压力均匀性成为问题。提供一种加压模块,该加压模块具备:工作台,该工作台具有载置被加压体的载置面;压力可变部,该压力可变部使上述载置面的面内的压力分布可变;多个压力检测部,该多个压力检测部对上述压力可变部的压力进行检测。上述压力可变部也可以具备控制部,该控制部基于由上述多个压力检测部检测出的压力,对上述载置面的面内的压力分布进行变更。

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