进气系统及等离子体加工设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201410372913.6
IPC分类号：H01J37/32;H01L21/67
申请日期：
2014-07-31
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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著录项信息

专利名称	进气系统及等离子体加工设备
申请号	CN201410372913.6	申请日期	2014-07-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-03-30	公开/公告号	CN105448632A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	代佳林
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	彭瑞欣;张天舒

摘要

本发明提供一种进气系统及等离子体加工设备，其包括气源、气体管路和气源温控装置，气源通过气体管路将反应气体输送至反应腔室内，并且在气体管路上设置有伴热器，用以调节气体管路的温度；气源温控装置用于调节气源的用于存储反应气体的容器的温度。本发明提供的进气系统，其通过借助气源温控装置调节气源的用于存储反应气体的容器的温度，而对进入反应腔室的反应气体温度进行控制，同时通过借助伴热器调节气体管路的温度，而起到保温以及对进入反应腔室的反应气体温度进行微调的辅助作用，可以减少管路长度、管路周围环境等因素的干扰，从而可以实现精确有效地对进入反应腔室的反应气体温度进行控制。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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