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半导体激光元件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN02142273.7
  • IPC分类号:H01S5/00
  • 申请日期:
    2002-08-29
  • 申请人:
    三井化学株式会社
著录项信息
专利名称半导体激光元件
申请号CN02142273.7申请日期2002-08-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2003-04-02公开/公告号CN1407677
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01S5/00IPC分类号H;0;1;S;5;/;0;0查看分类表>
申请人三井化学株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三井化学株式会社当前权利人三井化学株式会社
发明人藤本毅;室清文;小矶武
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司代理人吴邦基
摘要
本发明的目的是,提供一种选择成长形成的折射率控制层的膜厚控制性高、有效折射率差的再现性好、制造成品率高的半导体激光元件。在活性层(25)的至少一侧设具有活性层(25)的禁带宽度以上的禁带宽度的光波导层(27),在光波导层(27)外侧设具有光波导层(27)的禁带宽度以上的禁带宽度的包层(28),在光波导层(27)上,设经选择成长埋入的、具有带状窗(R21)的折射率控制层(31)的实际折射率波导型半导体激光元件中,该折射率控制层的膜厚在300nm以下,折射率控制层(31)埋入光波导层(27);在埋入的折射率控制层(31)上设先行选择成长的半导体层(30),在包含半导体层(30)和折射率控制层(31)的叠层部分中,半导体层(30)的膜厚变化造成的有效折射率的变化量,比折射率控制层(31)的膜厚变化造成的有效折射率的变化量更小。

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