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改良的晶圆研磨定位环

实用新型专利无效专利

申请号：
CN02236558.3
IPC分类号：--
申请日期：
2002-06-06
申请人：
陈水源;陈水生;陈添丁

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	改良的晶圆研磨定位环
申请号	CN02236558.3	申请日期	2002-06-06
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	陈水源;陈水生;陈添丁	申请人地址	台湾省新竹市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	陈水源,陈水生,陈添丁	当前权利人	陈水源,陈水生,陈添丁
发明人	陈水源;陈水生;陈添丁
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	曹广生

摘要

本实用新型涉及一种改良的晶圆研磨定位环。环体为正圆形无端环，其内径套合待研磨晶圆外径，前述环体外周缘下部位置设定有一环形警示线；该环体于本体环上部以左旋螺纹旋合金属环所构成。从而，可防影响研磨晶圆的品质。

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