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一种微流道表面处理方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010050122.7
  • IPC分类号:B01L3/00
  • 申请日期:
    2020-01-17
  • 申请人:
    厦门大学
著录项信息
专利名称一种微流道表面处理方法
申请号CN202010050122.7申请日期2020-01-17
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-06-09公开/公告号CN111250180A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01L3/00IPC分类号B;0;1;L;3;/;0;0查看分类表>
申请人厦门大学申请人地址
福建省厦门市思明南路422号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人厦门大学当前权利人厦门大学
发明人孙道恒;张昆鹏;何功汉
代理机构厦门市精诚新创知识产权代理有限公司代理人何家富
摘要
本发明公开了一种微流道表面处理方法,采用PDMS预聚物和交联剂的第一混合物稀释形成的PDMS溶液冲刷微流道在微流道的内表面形成PDMS覆盖层,并将微流道进行抽真空加热固化处理以固化PDMS覆盖层,通过有限次重复可使得PDMS填平微流道凹凸不平表面,降低微流道表面粗糙度。本发明解决了现有的溶剂蒸汽法对封闭型微流道难以进行表面处理以及不同微流道基底需要不同溶剂的材料选择性问题。同时本发明方法可应用于各种加工工艺、各种材料制造的微流道表面处理,特别针对低成本、低精度方法制造的表面粗糙度大的微流道,本表面处理方法能显著提高流道表面形貌特征;且PDMS的透明特性不影响微流控芯片的透光性,具有方法简单,有效,快速且经济的特点。

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