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基板处理方法及基板处理装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110291533.6
  • IPC分类号:H01L21/311
  • 申请日期:
    2011-09-26
  • 申请人:
    大日本网屏制造株式会社
著录项信息
专利名称基板处理方法及基板处理装置
申请号CN201110291533.6申请日期2011-09-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-07-25公开/公告号CN102610514A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/311
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;1;1查看分类表>
申请人大日本网屏制造株式会社申请人地址
日本国京都府京都市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人斯克林集团公司当前权利人斯克林集团公司
发明人桥诘彰夫
代理机构隆天知识产权代理有限公司代理人董雅会;郭晓东
摘要
本发明的基板处理方法包括:甲硅烷化工序,向基板供给甲硅烷化剂;蚀刻工序,在进行所述甲硅烷化工序之后,向所述基板供给蚀刻剂。所述基板处理方法可以包括反复工序,在反复工序中,多次进行包括甲硅烷化工序和所述蚀刻工序的一系列工序在内的循环周期。所述循环周期还可以包括在进行所述蚀刻工序之后向所述基板供给冲洗液的冲洗工序。而且,所述循环周期还可以包括在进行所述蚀刻工序之后向所述基板照射紫外线的紫外线照射工序。所述基板处理方法还可以包括在进行所述甲硅烷化工序之前或之后向所述基板照射紫外线的甲硅烷化前紫外线照射工序。

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