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具有平顶输出响应的窄带Fabry-Perot滤波器

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200410004954.6
  • IPC分类号:H04B10/02;G02B6/24
  • 申请日期:
    2004-02-13
  • 申请人:
    中国科学院半导体研究所
著录项信息
专利名称具有平顶输出响应的窄带Fabry-Perot滤波器
申请号CN200410004954.6申请日期2004-02-13
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-08-17公开/公告号CN1655478
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H04B10/02IPC分类号H;0;4;B;1;0;/;0;2;;;G;0;2;B;6;/;2;4查看分类表>
申请人中国科学院半导体研究所申请人地址
北京市海淀区清华东路甲35号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院半导体研究所当前权利人中国科学院半导体研究所
发明人蔡晓;左玉华;王启明
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人汤保平
摘要
一种具有平顶输出响应的窄带Fabry-Perot滤波器,包括:一基片;一下分布式布拉格反射镜,该下分布式布拉格反射镜制作在基片的上面,一下Fabry-Perot腔,该下Fabry-Perot腔制作在下分布式布拉格反射镜的上面;一中间分布式布拉格反射镜,该中间分布式布拉格反射镜制作在下Fabry-Perot腔的上面;一上Fabry-Perot腔,该上Fabry-Perot腔制作在中间分布式布拉格反射镜的上面;一上分布式布拉格反射镜,该上分布式布拉格反射镜制作在上Fabry-Perot腔的上面;以及一减反膜,该减反膜制作在基片的底面上。

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