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生产集成单元互联设备及其前板清洁装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821961103.4
IPC分类号：H01L31/18;H01L21/67;H01L21/02
申请日期：
2018-11-27
申请人：
北京铂阳顶荣光伏科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	生产集成单元互联设备及其前板清洁装置
申请号	CN201821961103.4	申请日期	2018-11-27
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人	北京铂阳顶荣光伏科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室(入驻深圳市前海商务秘书有限公司) 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	鸿翌科技有限公司	当前权利人	鸿翌科技有限公司
发明人	杨海山;郑大伟
代理机构	北京风雅颂专利代理有限公司	代理人	李莎;李弘

摘要

本实用新型公开了一种生产集成单元互联设备及其前板清洁装置，所述前板清洁装置位于所述生产集成单元互联设备的机械手抓取装置的前板来向一侧；所述清洁装置包括清扫机构，所述清扫机构设置在所述生产集成单元互联设备的传送装置的传送面一侧。本实用新型提供的生产集成单元互联设备及其前板清洁装置，能够预先清理前板上的异物，从而减少不良几率。

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