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衬底热处理设备和衬底热处理方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200880001147.5
  • IPC分类号:H01L21/324;H01L21/26
  • 申请日期:
    2008-08-28
  • 申请人:
    佳能安内华股份有限公司
著录项信息
专利名称衬底热处理设备和衬底热处理方法
申请号CN200880001147.5申请日期2008-08-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2009-10-28公开/公告号CN101569000
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/324IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;2;4;;;H;0;1;L;2;1;/;2;6查看分类表>
申请人佳能安内华股份有限公司申请人地址
日本神奈川 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人佳能安内华股份有限公司当前权利人佳能安内华股份有限公司
发明人柴垣真果
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人张涛
摘要
本发明涉及一种衬底热处理设备,在该设备中,衬底支架单元布置在真空腔中并可竖直地运动,所述衬底支架单元包括由具有高辐射率的碳或覆盖有碳的材料制成的衬底台架。包括与衬底台架相对的散热表面的加热单元在真空腔中设置在衬底台架上方。衬底台架运动接近散热表面以用来自散热表面的辐射热与衬底非接触地加热衬底。衬底支架单元包括辐射板和反射板。

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