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基于波形匹配的石英晶片研磨控制与测频方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810502299.9
  • IPC分类号:G01R23/02;B24B37/005
  • 申请日期:
    2016-01-22
  • 申请人:
    浙江大学台州研究院
著录项信息
专利名称基于波形匹配的石英晶片研磨控制与测频方法
申请号CN201810502299.9申请日期2016-01-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-10-26公开/公告号CN108710025A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01R23/02IPC分类号G;0;1;R;2;3;/;0;2;;;B;2;4;B;3;7;/;0;0;5查看分类表>
申请人浙江大学台州研究院申请人地址
浙江省台州市府大道西段618号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江大学台州研究院当前权利人浙江大学台州研究院
发明人潘凌锋;郭彬;陈一信;陈浙泊
代理机构杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙)代理人董世博
摘要
本发明公开了基于波形匹配的石英晶片研磨控制与测频方法,能在石英晶片研磨过程中稳定实时地测量从5M到70MHZ的频率;本系统可以显示晶片研磨生产过程中的各种状态并提出建议,在线测频过程中实时监控石英晶片研磨状态,若出现异常情况实时关停研磨机,防止超频事件的发生,用户可根据触摸屏上显示的这些状态有效提高生产效率;加入“跳频约束策略”彻底解决ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题;提供晶片研磨实时平均频率、研磨速率和散差等多样化统计参数,为更换研磨砂和维修研磨盘面提供科学依据,解决ALC系统“无法监控研磨机状态”的缺陷。

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