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低温真空镀膜装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201220026577.6
  • IPC分类号:C23C14/22;C23C14/02
  • 申请日期:
    2012-01-20
  • 申请人:
    纳峰真空镀膜(上海)有限公司
著录项信息
专利名称低温真空镀膜装置
申请号CN201220026577.6申请日期2012-01-20
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/22IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;2;;;C;2;3;C;1;4;/;0;2查看分类表>
申请人纳峰真空镀膜(上海)有限公司申请人地址
上海市青浦区青浦工业园区华纺路99弄99号2幢1层A区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人纳峰真空镀膜(上海)有限公司当前权利人纳峰真空镀膜(上海)有限公司
发明人史旭
代理机构上海东亚专利商标代理有限公司代理人罗习群;刘莹
摘要
本实用新型公开一种低温真空镀膜装置,该装置一真空镀膜腔体与过滤阴极离子真空镀膜源连接,真空镀膜腔体设有分子真空泵,并在真空镀膜腔体设有离子束清洗源,清洗被镀工件,真空镀膜腔体温度低于800C,被镀工件塑料制品,或橡胶制品放置于真空镀膜腔体内,用过滤阴极离子真空镀膜源对其镀膜,膜源的粒子方向能调整,可从不同角度对准被镀工件进行镀膜。本实用新型的优点是:被镀工件即使在小于800C温度条件下,仍有足够的镀层厚度,而且耐磨、耐腐蚀,并且能够镀制小型、细薄的塑料制品而不使产品变形,特别适用于某些精细加工行业。

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