一种双阴极竖直旋转微电铸装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201610166046.X
IPC分类号：C25D1/00
申请日期：
2016-03-22
申请人：
中南大学

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著录项信息

专利名称	一种双阴极竖直旋转微电铸装置
申请号	CN201610166046.X	申请日期	2016-03-22
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2016-06-08	公开/公告号	CN105648479A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C25D1/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C25 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕 C25D 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸（印刷电路的金属沉积法制造入H05K 3/18）；工件的电解法接合；所用的装置（阳极或阴极保护入 C23F13/00；单晶生长入C30B）〔2，6〕 C25D1/00 电铸〔2〕	IPC分类号	C;2;5;D;1;/;0;0查看分类表>
申请人	中南大学	申请人地址	湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中南大学	当前权利人	中南大学
发明人	蒋炳炎;黎醒;翁灿;董彦灼
代理机构	长沙市融智专利事务所	代理人	邓建辉

摘要

本发明公开了一种双阴极竖直旋转微电铸装置，结构包括电机(1)、电铸槽(3)、双阴极夹具单元(4)和电源(5)，电机(1)通过竖直旋转轴(2)与双阴极夹具单元(4)连接，双阴极夹具单元(4)安放在电铸槽(3)中，电源阴极和阳极分别与电解阴极(4f)和电解阳极(4k)连接，电铸槽(3)用于放置电铸液，电机(1)提供双阴极夹具单元(4)旋转所需的力矩，电源(5)提供电铸电能。本发明可实现平面阴极微电铸工艺中阴极绕竖直轴旋转，以减少析氢、杂质吸附等带来的铸件缺陷，增加电铸液扰动效果，改善离子传质条件，且一次电铸实验过程中成型两个工艺条件相同的铸件。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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