一种微球内表面缺陷测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010335374.4
IPC分类号：G01N21/88
申请日期：
2020-04-24
申请人：
南京理工大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种微球内表面缺陷测量方法
申请号	CN202010335374.4	申请日期	2020-04-24
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-09-11	公开/公告号	CN111650203A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;8查看分类表>
申请人	南京理工大学	申请人地址	江苏省南京市玄武区孝陵卫200号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京理工大学	当前权利人	南京理工大学
发明人	马骏;淳秋垒;李建欣;朱日宏;魏聪;刘戴明
代理机构	南京理工大学专利中心	代理人	岑丹

摘要

本发明公开了一种微球内表面缺陷测量方法，获取微球外表面测试光与参考光的干涉强度图，微球内表面测试光和参考光的干涉强度图以及参考光的光强分布图；获得外表面干涉光场和内表面干涉光场的复振幅分布；引入虚拟透镜进行复振幅重构获得重构后的外表面干涉光场和内表面干涉光场的复振幅分布；将外表面测试光的复振幅转化成透射光重构复振幅；获得消去调制后的内表面重构复振幅；根据衍射距离，采用逆向衍射计算获取衍射面复振幅分布，确定内表面缺陷相位信息。本发明引入了虚拟透镜，将曲面间的衍射计算转换成平面与平面间的衍射计算，避免了球面相位的引入所带来的采样问题。

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