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一种基于工艺匹配的微小型结构件快速显微检测方法及装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200910085601.6
  • IPC分类号:G01B11/24;G01B11/08;G01B11/12;G01B11/00;G06T7/00
  • 申请日期:
    2009-05-26
  • 申请人:
    北京理工大学
著录项信息
专利名称一种基于工艺匹配的微小型结构件快速显微检测方法及装置
申请号CN200910085601.6申请日期2009-05-26
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2010-01-06公开/公告号CN101619964
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B11/24IPC分类号G;0;1;B;1;1;/;2;4;;;G;0;1;B;1;1;/;0;8;;;G;0;1;B;1;1;/;1;2;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;6;T;7;/;0;0查看分类表>
申请人北京理工大学申请人地址
北京市海淀区中关村南大街5号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京理工大学当前权利人北京理工大学
发明人张之敬;叶鑫;金鑫;张林;杜芳;程朋乐
代理机构北京理工大学专利中心代理人高燕燕
摘要

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