一种单晶硅棒加工装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201811599880.3
IPC分类号：B28D5/04;B28D7/04
申请日期：
2018-12-26
申请人：
福州天瑞线锯科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种单晶硅棒加工装置
申请号	CN201811599880.3	申请日期	2018-12-26
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-03-19	公开/公告号	CN109483749A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B28D5/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B28 加工水泥、黏土或石料 B28D 加工石头或类似石头的材料（采矿或采石用的机械或方法入E21C） B28D5/00 宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备（磨削或抛光加工入B24；用于艺术目的加工入B44B；用非机械方法的入C04B 41/00；单晶的非机械方法后处理入C30B 33/00）〔3〕 B28D5/04 用非旋转式工具的，例如往复式工具	IPC分类号	B;2;8;D;5;/;0;4;;;B;2;8;D;7;/;0;4查看分类表>
申请人	福州天瑞线锯科技有限公司	申请人地址	福建省福州市闽侯县甘蔗街道南兴路6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	福州天瑞线锯科技有限公司	当前权利人	福州天瑞线锯科技有限公司
发明人	朱文志;李波;汤文博;蓝碧峰;范舒彬;林孝狮;黄田玉;林光展
代理机构	福州市景弘专利代理事务所（普通合伙）	代理人	林祥翔;张忠波

摘要

本发明公开了一种单晶硅棒加工装置，包括滚轮支撑机构、装夹机构及线锯运行机构；滚轮支撑机构包括安装座及第一滚轮座，第一滚轮座可轴向移动地设置于安装座上，第一滚轮座的各个滚轮之间开设有切割线让位槽；装夹机构包括第一定位及取片机构、第一浮动支撑机构及夹持机构；第一定位及取片机构包括真空吸盘，真空吸盘位于滚轮支撑机构上方；夹持机构包括夹爪机构及第一轴向移动驱动机构；第一轴向移动驱动机构用于驱动夹爪机构轴向移动；第一浮动支撑机构包括支撑机构及第二轴向移动驱动机构，第二轴向移动驱动机构用于驱动支撑机构轴向移动；线锯运行机构设置包括第一线锯切割机构。本发明具有加工精度高的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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